2024年11月15日,備受矚目的國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)建成發(fā)布儀式,在第二十六屆中國(guó)國(guó)際高新技術(shù)成果交易會(huì)的現(xiàn)場(chǎng)隆重舉行,這一里程碑事件標(biāo)志著深圳在第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新領(lǐng)域邁出了堅(jiān)實(shí)的一步。發(fā)布會(huì)現(xiàn)場(chǎng)既有來自半導(dǎo)體行業(yè)的專家,也有市科創(chuàng)局、市發(fā)改委、市工信局、龍崗區(qū)政府、市重投集團(tuán)、深圳市半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)、深圳市半導(dǎo)體和集成電路產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟、深圳先進(jìn)電子材料國(guó)際創(chuàng)新研究院、電子科技大學(xué)(深圳)高等研究院、第三代半導(dǎo)體國(guó)創(chuàng)中心湖南平臺(tái)的領(lǐng)導(dǎo)和嘉賓,他們的到場(chǎng)體現(xiàn)了各界對(duì)國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)建成的高度重視。
伴隨著深圳綜合平臺(tái)建設(shè)匯報(bào)視頻的播放,通過豐富的影像資料和詳實(shí)的數(shù)據(jù)記錄,全面展示了平臺(tái)籌備到建設(shè)過程中的點(diǎn)點(diǎn)滴滴。自2021年起,根據(jù)科技部統(tǒng)一部署,深圳市開始承接國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)的建設(shè)任務(wù)。在2022年,設(shè)立深圳平湖實(shí)驗(yàn)室作為建設(shè)和運(yùn)營(yíng)主體。在建設(shè)過程中,始終遵循“一體統(tǒng)籌規(guī)劃、多地分布布局、協(xié)同創(chuàng)新聯(lián)動(dòng)”的原則,聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件物理研究、材料研究、技術(shù)開發(fā)、產(chǎn)品中試,以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究等多個(gè)關(guān)鍵方面,致力于打造一個(gè)在全球范圍內(nèi)具有競(jìng)爭(zhēng)力的、涵蓋創(chuàng)新、中試及共享功能的第三代及第四代功率半導(dǎo)體平臺(tái)。
在現(xiàn)場(chǎng)熱烈的掌聲中,深圳市科技創(chuàng)新局 方琳 副局長(zhǎng)登臺(tái)致辭,她強(qiáng)調(diào)了半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在國(guó)家科技發(fā)展戰(zhàn)略中的核心地位,鼓勵(lì)深圳綜合平臺(tái)在未來充分發(fā)揮自身優(yōu)勢(shì),積極整合各方資源,不斷推動(dòng)半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新,為實(shí)現(xiàn)我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展做出更大的貢獻(xiàn)。隨著方琳 副局長(zhǎng)祝賀“國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)建成”,現(xiàn)場(chǎng)嘉賓紛紛報(bào)以熱烈的掌聲。
深圳綜合平臺(tái)主任、深圳平湖實(shí)驗(yàn)室主任萬玉喜先生隨后在熱切的期待中上臺(tái)發(fā)言,詳細(xì)回顧了深圳綜合平臺(tái)的建設(shè)歷程并著重介紹了平臺(tái)定位和未來規(guī)劃。他指出,國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)作為全國(guó)首個(gè)集科研和中試于一體的8吋功率半導(dǎo)體開放共享平臺(tái),就像一條堅(jiān)固的紐帶,連接著從基礎(chǔ)研發(fā)到工程化應(yīng)用的各個(gè)環(huán)節(jié)。深圳綜合平臺(tái)將深深扎根于深圳及大灣區(qū)這片充滿創(chuàng)新活力的土地,積極協(xié)同國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心的其他平臺(tái)、全國(guó)的高等院校、科研機(jī)構(gòu)以及企業(yè)的優(yōu)質(zhì)資源,為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供源源不斷的人才供給。以前瞻性技術(shù)為引領(lǐng),大力推動(dòng)第三代半導(dǎo)體關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān),保障供應(yīng)安全并積極推動(dòng)成果產(chǎn)業(yè)化,持續(xù)提升創(chuàng)新能力。
作為發(fā)布會(huì)重要的成果展示環(huán)節(jié),深圳綜合平臺(tái)的三大能力平臺(tái)逐一揭開神秘面紗,專家代表紛紛登臺(tái)亮相,詳細(xì)展示了平臺(tái)能力和建設(shè)成果:
其中,深圳綜合平臺(tái)中試線工程部賀部長(zhǎng)登臺(tái)介紹了中試線的技術(shù)優(yōu)勢(shì)與創(chuàng)新能力以及產(chǎn)業(yè)鏈布局等。目前,深圳綜合平臺(tái)已精心布局1200 - 6500V SiC MOSFET及15 - 1200V GaN HEMT產(chǎn)品及工藝平臺(tái),正在積極構(gòu)建從材料制備、芯片設(shè)計(jì)、晶圓制造到封裝測(cè)試的完整產(chǎn)業(yè)鏈。在產(chǎn)業(yè)鏈構(gòu)建過程中,中試線與上下游企業(yè)緊密合作,全力推動(dòng)協(xié)同發(fā)展,逐步形成一個(gè)良好的生態(tài)系統(tǒng)。此外,中試線還積極參與行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的制定工作,與國(guó)內(nèi)外高校、研究機(jī)構(gòu)深度合作,不斷探索更多的應(yīng)用場(chǎng)景。在質(zhì)量控制方面建立了完善的質(zhì)量控制體系,為半導(dǎo)體產(chǎn)品的高質(zhì)量生產(chǎn)提供堅(jiān)實(shí)的保障。
緊接著,深圳平湖實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)與仿真部王部長(zhǎng)隨后登臺(tái)發(fā)布了第三代半導(dǎo)體功率半導(dǎo)體設(shè)計(jì)仿真工具鏈平臺(tái)的最新建設(shè)進(jìn)展。她著重闡述了設(shè)計(jì)與仿真工具鏈軟件多元化對(duì)我國(guó)EDA產(chǎn)業(yè)生態(tài)發(fā)展的重大意義。在EDA市場(chǎng),全工具鏈模式的國(guó)外EDA供應(yīng)商具備競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì),但國(guó)內(nèi)EDA供應(yīng)商大多為點(diǎn)工具開發(fā),發(fā)展相對(duì)滯后。深圳綜合平臺(tái)巧妙地利用自身產(chǎn)線的優(yōu)勢(shì),搭建起了一個(gè)產(chǎn)學(xué)研緊密合作的國(guó)產(chǎn)EDA工具鏈公共服務(wù)平臺(tái),成功地解決了串鏈困難與驗(yàn)證困難這兩大難題,這一舉措對(duì)于完善我國(guó)的EDA產(chǎn)業(yè)生態(tài)、搶占化合物EDA工具發(fā)展的制高點(diǎn)具有不可忽視的戰(zhàn)略意義。
最后,深圳平湖實(shí)驗(yàn)室分析檢測(cè)中心主任曾威先生登臺(tái)發(fā)布,宣布深圳平湖實(shí)驗(yàn)室分析檢測(cè)中心正式啟用,相較于業(yè)內(nèi)其他檢測(cè)中心,深圳平湖實(shí)驗(yàn)室分析檢測(cè)中心具備業(yè)界領(lǐng)先的技術(shù)和優(yōu)勢(shì)。首先,在能力布局方面極為全面,涵蓋了材料分析、微觀結(jié)構(gòu)分析、失效分析、電性測(cè)試、快速封裝、可靠性驗(yàn)證等全產(chǎn)業(yè)鏈的各個(gè)環(huán)節(jié);其次,該中心擁有一支實(shí)力強(qiáng)大且專業(yè)的專家團(tuán)隊(duì),其中首席專家達(dá)到3名以上,博士所占的比例不少于30%,碩博所占的比例更是不少于80%,這樣一支高素質(zhì)的專家團(tuán)隊(duì)為檢測(cè)中心的技術(shù)實(shí)力提供了堅(jiān)實(shí)的人才支撐;再次,在合作模式上,該檢測(cè)中心可以作為一個(gè)第三方檢測(cè)平臺(tái),為客戶提供檢測(cè)、咨詢、認(rèn)證等多種服務(wù),并且能夠?yàn)榭蛻舳ㄖ茖m?xiàng)解決方案,提供全面的技術(shù)支持,通過橫向合作推動(dòng)技術(shù)進(jìn)步和產(chǎn)業(yè)升級(jí)。
建成發(fā)布的深圳綜合平臺(tái)將是粵港澳大灣區(qū)乃至全國(guó)在第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新方面的核心力量,平臺(tái)有助于深圳打造具有全球影響力的半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心、中試轉(zhuǎn)化集聚中心、產(chǎn)業(yè)合作促進(jìn)中心,支撐國(guó)家重大戰(zhàn)略需求,在重點(diǎn)關(guān)鍵核心技術(shù)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)突破,重塑產(chǎn)業(yè)技術(shù)格局,持續(xù)推動(dòng)我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高水平、高質(zhì)量發(fā)展。
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